看半導體晶圓用明暗場正置金相顯微鏡。利用明暗場正置金相顯微鏡可以有效的把晶圓的冗余物、晶體缺陷、機械損傷等損傷檢測出來。
1、暗場顯微鏡在材料檢測中常用于晶圓電路圖案、缺陷觀察，在暗場顯微鏡下能看到微小物體，也叫亞粒子。
2、偏光可用于顯示材料的紋理和晶體樣貌。其非常適合檢測晶片和LCD結構。
3、明場是觀察晶圓電路顏色的
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